[发明专利]一种用于制造绝对式钢带光栅尺的加工装置

摘要

一种用于制造绝对式钢带光栅尺的加工装置属于工业加工领域，目的在于解决了传统曝光装置无法制造具有周期、非周期双码道的绝对式光栅尺的缺陷，提高了位移测量精度，实现超长计量钢带尺的制造。本发明还包括投影曝光头、CCD探测器和激光打标装置；所述两个投影曝光头分别对钢带宽度的一半进行曝光，所述激光打标装置位于所述钢带的曝光区间始端的下方，所述CCD探测器位于所述钢带的曝光区间终端的下方，所述CCD探测器及所述激光打标装置的控制输出端与计算机连接。利用两个投影曝光头分别产生绝对式光栅尺所需的周期性、非周期性的码道条纹图案，实现具有双码道的绝对式光栅尺的制造；利用激光干涉仪控制微小位移变化，提高精度。

主权项

一种用于制造绝对式钢带光栅尺的加工装置包括传动轮（1）和计算机（6），其特征在于，还包括投影曝光头（5）、CCD探测器（7）和激光打标装置（9）；所述钢带（2）在所述两个传动轮（1）之间输送，所述两个投影曝光头（5）分别对钢带（2）宽度的一半进行曝光，所述激光打标装置（9）位于所述钢带（2）的曝光区间始端（202）的下方，所述CCD探测器（7）位于所述钢带（2）的曝光区间终端（203）的下方；所述传动轮（1）由所述计算机（6）控制运动，所述CCD探测器（7）和所述激光打标装置（9）的控制输出端与所述计算机（6）连接；所述投影曝光头（5）包括LED光源（501）、DMD（502）和投影物镜（503），所述DMD（502）是由阵列的微反射镜组成，所述DMD（502）由计算机（6）控制产生码道图案，所述LED光源（501）发出均匀光照射所述DMD（502）表面，由DMD（502）反射的光通过投影物镜（503）将DMD（502）产生的码道图案投射到钢带（2）上。