[发明专利]一种用于制造绝对式钢带光栅尺的加工装置

权利要求书

1.一种用于制造绝对式钢带光栅尺的加工装置包括传动轮（1）和计算机（6），其特征在于，还包括投影曝光头（5）、CCD探测器（7）和激光打标装置（9）；

所述钢带（2）在所述两个传动轮（1）之间输送，所述两个投影曝光头（5）分别对钢带（2）宽度的一半进行曝光，所述激光打标装置（9）位于所述钢带（2）的曝光区间始端（202）的下方，所述CCD探测器（7）位于所述钢带（2）的曝光区间终端（203）的下方；

所述传动轮（1）由所述计算机（6）控制运动，所述CCD探测器（7）和所述激光打标装置（9）的控制输出端与所述计算机（6）连接；

所述投影曝光头（5）包括LED光源（501）、DMD（502）和投影物镜（503），所述DMD（502）是由阵列的微反射镜组成，所述DMD（502）由计算机（6）控制产生码道图案，所述LED光源（501）发出均匀光照射所述DMD（502）表面，由DMD（502）反射的光通过投影物镜（503）将DMD（502）产生的码道图案投射到钢带（2）上。

2.根据权利要求1所述的一种用于制造绝对式钢带光栅尺的加工装置，其特征在于，所述装置还包括激光干涉仪（4），所述两个投影曝光头（5）在所述钢带（2）的曝光区间（201）上方移动，所述激光干涉仪（4）测量所述投影曝光头（5）移动的微小位移，并将测得的微小位移反馈到计算机（6）。

3.根据权利要求1所述的一种用于制造绝对式钢带光栅尺的加工装置，其特征在于，所述CCD探测器（7）实时探测所述激光打标装置（9）打在所述钢带（2）上的标记。

4.根据权利要求1所述的一种用于制造绝对式钢带光栅尺的加工装置，其特征在于，所述两个投影曝光头（5）在所述钢带（2）的曝光区间之间移动，将产生的周期性和非周期性条纹图案投影曝光到钢带（2）的加工表面。

5.根据权利要求1所述的一种用于制造绝对式钢带光栅尺的加工装置，其特征在于，所述加工装置还包括超光滑防震平台（8），所述超光滑防震平台（8）的上表面与所述钢带（2）接触使在所述钢带（2）传送和拉紧过程中保持水平状态。

6.根据权利要求1所述的一种用于制造绝对式钢带光栅尺的加工装置，其特征在于，所述加工装置还包括皮带张力器（3），所述两组皮带张力器（3）分别放置在所述钢带（2）的曝光区间（201）的两端；所述皮带张力器（3）感应钢带（2）的张力大小，并将信息反馈给所述计算机（6）。