[发明专利]一种忆阻器器件单元的电学特性测试系统及其测试方法

摘要

本发明公开了一种忆阻器器件单元的电学特性测试系统，包括探针台、脉冲发生器、脉冲发生模块、源测量单元、示波器以及中央控制单元，其中：探针台的探针用于电接触测试样品的电极以便执行相关测试；脉冲发生器用于产生电压脉冲信号，并通过源测量单元对测试样品的相应阻值状态进行测量；脉冲发生模块用于产生交流信号，并通过示波器对测试样品的响应情况进行处理；源测量单元除了执行以上对交流特征的测量之外，还用于执行直流I-V特性测试和保持力测试测试指令。本发明还公开了相应的测试方法。通过本发明，能够以更高效率、便于操作的方式获得更为全面的忆阻器电学特性，提高测量精度和自动化程度，同时具备较强的测试扩展能力。

主权项

一种忆阻器器件单元的电学特性测试系统，该测试系统包括探针台、脉冲发生器、脉冲发生模块、源测量单元、示波器以及中央控制单元，其特征在于：所述探针台用于放置待测量的忆阻器，并在执行测量时利用其所配备的两根探针分别电接触作为测试样品的忆阻器器件单元的上、下电极；所述脉冲发生器用于根据中央控制单元的脉冲特性测试指令，产生电压脉冲信号作用于测试样品，所述源测量单元相应对测试样品在该脉冲信号作用后的阻值状态进行测量；所述脉冲发生模块用于根据中央控制单元的交流特性测试指令，产生交流信号作用于测试样品，所述示波器相应对测试样品在该交流信号作用下的响应情况进行处理，由此获得反映测试样品交流特征的测试结果；所述源测量单元除了执行以上对交流特征的测量之外，还用于根据中央控制单元的直流I‑V特性测试指令，产生一系列幅值递增的电压或电流激励信号并实时测试样品对应的电流或电压反馈值；或是根据中央控制单元的保持力测试测试指令，使得测试样品处于一定阻态，并对测试样品在无信号激励下的阻态保持时间进行测量。