[发明专利]一种使用实时系统控制椭偏仪的控制方法及实时系统有效
| 申请号： | 201210552910.1 | 申请日： | 2012-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN103869830B | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 王勇 | 申请（专利权）人： | 睿励科学仪器（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G05D3/12 | 分类号： | G05D3/12;G01B11/06;G01N21/21 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 郑立柱 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 现有用于控制椭偏仪测量的方法均是使用非实时系统实现，无法实时的控制椭偏仪各部件，会引起椭偏仪数据采集延后、测量效率低、集成工作难度大。本发明提出了一种使用实时系统控制椭偏仪的控制方法以及相应的实时系统，其中，该方法包括如下步骤：i.接收来自外部的指示；ii.根据该指示，使用运动控制模块，通过运动控制卡(5)，控制椭偏仪的起偏器(2)和/或验偏器(3)；iii.根据该指示，使用探测控制模块，控制椭偏仪的探测器(4)；其中，所述运动控制模块和所述探测控制模块并行地实时运作。本发明的实施方式确保测量控制实时性和测量控制的精度。并且，由于是在实时系统中，能够实时响应外部发送来的指示，没有延迟。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 使用 实时 系统 控制 椭偏仪 方法 | ||
【主权项】：
一种使用实时系统控制椭偏仪的控制方法，其特征在于，包括如下步骤：i.接收来自外部的指示；ii.根据该指示，使用运动控制模块，通过运动控制卡，控制椭偏仪的起偏器和/或验偏器；iii.根据该指示，使用探测控制模块，控制椭偏仪的探测器；其中，所述运动控制模块和所述探测控制模块并行地实时运作。
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