[发明专利]一种使用实时系统控制椭偏仪的控制方法及实时系统

权利要求书

1.一种使用实时系统控制椭偏仪的控制方法，其特征在于，包括如下步骤：

i.接收来自外部的指示；

ii.根据该指示，使用运动控制模块，通过运动控制卡，控制椭偏仪的起偏器和/或验偏器；

iii.根据该指示，使用探测控制模块，控制椭偏仪的探测器；

其中，所述运动控制模块和所述探测控制模块并行地实时运作。

2.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于，所述步骤i中：

-向椭偏仪的使用端提供指示接口，允许椭偏仪的使用端通过该接口使实时系统与椭偏仪交互，从而椭偏仪的测量实现细节对椭偏仪的使用端是透明的。

3.根据权利要求2所述的控制方法，其特征在于，所述步骤i中，向椭偏仪的使用端提供的指示接口包括以下任一项：

a.初始化椭偏仪的接口；

b.关闭椭偏仪的接口；

c.控制起偏器、验偏器转动到一角度位置的接口；

d.获取起偏器、验偏器的当前角度位置的接口；

e.无起偏器和验偏器的单次测量的接口；

f.有起偏器和验偏器的单次测量的接口；

g.无起偏器和验偏器的平均测量的接口；

h.有起偏器和验偏器的平均测量的接口；

i.同步测量的接口。

4.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于，所述步骤ii包括：

-与运动控制卡建立通讯；

-通过运动控制卡控制起偏器、验偏器运动；

-通过运动控制卡获取起偏器、验偏器的当前运动状态。

5.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于，所述步骤iii包括：

-与探测器建立通讯；

-设置探测器工作参数；

-从探测器中采集光谱数据。

6.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于，所述步骤ii中，根据测量指示来控制起偏器和/或验偏器运动；

所述步骤iii中，根据该测量指示来控制探测器探测来自样品的测量信号，并获取测量信号；

该方法还包括如下步骤：

iv.在获取到该测量信号后，使用处理模块来进行数据处理。

7.根据权利要求6所述的控制方法，其特征在于，所述测量指示包括无起偏器和验偏器的单次测量；

所述步骤ii中，维持起偏器和/或验偏器的当前角度；

所述步骤iii中，向探测器发送探测指令，并且获得来自探测器的单个测量信号。

8.根据权利要求6所述的控制方法，其特征在于，所述测量指示包括无起偏器和验偏器的平均测量；

所述步骤ii中，维持起偏器和/或验偏器的当前角度；

所述步骤iii中，向探测器发送探测指令，并且获得来自探测器的连续多个测量信号；

所述步骤iv中，对该多个测量信号进行平均处理。

9.根据权利要求6所述的控制方法，其特征在于，所述测量指示包括有起偏器和验偏器的单次测量；

所述步骤ii中，控制所述运动控制卡将起偏器和/或验偏器旋转到一定角度；

所述步骤iii中，向探测器发送探测指令，并且获得来自探测器的单个测量信号。

10.根据权利要求6所述的控制方法，其特征在于，所述测量指示包括有起偏器和验偏器的平均测量；

所述步骤ii中，控制所述运动控制卡将起偏器和/或验偏器旋转到一定角度；

所述步骤iii中，向探测器发送探测指令，并且获得来自探测器的连续多个测量信号；

所述步骤iv中，对该多个测量信号进行平均处理。

11.根据权利要求6所述的控制方法，其特征在于，所述测量指示包括同步测量；

所述步骤ii中，控制所述运动控制卡将起偏器和/或验偏器之中的一个旋转到一角度，并控制之中的另一个从另一角度开始匀速转动；

所述步骤iii中，向探测器发送探测指令，该探测指令指示所述探测器根据所述运动控制卡的触发来进行测量，并获得来自探测器的该多个测量信号；

所述步骤iv中，从运动控制卡获得与该多个测量信号分别对应的角度数据，并基于角度数据对该多个测量信号进行相应处理。