[发明专利]多层多元素耐高温类金刚石纳米复合薄膜材料无效
| 申请号： | 201210550895.7 | 申请日： | 2012-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN103866234A | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 张俊彦;郑愉;张斌 | 申请（专利权）人： | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/16 | 分类号： | C23C14/16;C23C14/06;C23C14/32;C23C14/35 |
| 代理公司： | 兰州中科华西专利代理有限公司 62002 | 代理人： | 方晓佳 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多层多元素耐高温类金刚石纳米复合薄膜材料。由碳素钢基体、不锈钢基体或硬质合金基体、底材粘结层、中间过渡层和表面功能层构成，底材粘结层为金属Ti粘接层，中间过渡层为碳化硅层，表面功能层为Si掺杂类金刚石碳膜。本发明的复合薄膜材料，相比于普通类金刚石薄膜材料，使用温度提高了150℃，并增加了薄膜的耐磨性和使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 多层 多元 耐高温 金刚石 纳米 复合 薄膜 材料 | ||
【主权项】：
一种多层多元素耐高温类金刚石纳米复合薄膜材料，其特征是依次由碳素钢基体、不锈钢基体或硬质合金基体、底材粘结层、中间过渡层和表面功能层构成，底材粘结层为金属Ti粘接层，中间过渡层为碳化硅层，表面功能层为Si掺杂类金刚石碳膜。
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