[发明专利]采用压电材料制备的阵列结构微机电谐振器无效
| 申请号： | 201210539946.6 | 申请日： | 2012-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN103023454A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 康中波;司朝伟;宁瑾;韩国威 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H03H9/15 | 分类号： | H03H9/15;H03H9/02;H03H3/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种采用压电材料制备的阵列微机电谐振器结构，包括：一激励平板谐振器；一输出平板谐振器；多个储能平板谐振器，其为菱形矩阵式叠置，其是通过边角直接互相接触连接，其中最上面的两个储能平板谐振器与激励平板谐振器通过边角直接接触连接，最下面的两个储能平板谐振器与输出平板谐振器通过边角直接接触连接；一输入电极对，该输入电极对覆盖在激励平板谐振器上下表面；一输出电极对，该输出电极对覆盖在输出平板谐振器上下表面；一支撑锚点对，该支撑锚点对分别与激励平板谐振器和输出平板谐振器的外边角相连接，该支撑锚点对将激励平板谐振器、输出平板谐振器、多个储能平板谐振器、输入电极对和输出电极对支撑起，为悬空状；一衬底，所述支撑锚点对固定在该衬底上。 | ||
| 搜索关键词： | 采用 压电 材料 制备 阵列 结构 微机 谐振器 | ||
【主权项】：
一种采用压电材料制备的阵列微机电谐振器结构，包括：一激励平板谐振器；一输出平板谐振器；多个储能平板谐振器，该多个储能平板谐振器为菱形矩阵式叠置，其是通过边角直接互相接触连接，其中最上面的两个储能平板谐振器与激励平板谐振器通过边角直接接触连接，最下面的两个储能平板谐振器与输出平板谐振器通过边角直接接触连接；一输入电极对，该输入电极对覆盖在激励平板谐振器上下表面；一输出电极对，该输出电极对覆盖在输出平板谐振器上下表面；一支撑锚点对，该支撑锚点对分别与激励平板谐振器和输出平板谐振器的外边角相连接，该支撑锚点对将激励平板谐振器、输出平板谐振器、多个储能平板谐振器、输入电极对和输出电极对支撑起，为悬空状；一衬底，所述支撑锚点对固定在该衬底上。
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