[发明专利]含钛中高温太阳能吸收涂层的制备方法有效
| 申请号： | 201210530623.0 | 申请日： | 2012-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN103866233A | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 王轩;张敏;尹万里;孙守建;朱敦智 | 申请（专利权）人： | 北京市太阳能研究所集团有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;C23C14/34;F24J2/48 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 韩国胜 |
| 地址： | 100012 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种含钛中高温太阳能吸收涂层的制备方法，其包括以下步骤：S1.选择基体，在基体上制备一层铝膜作为金属红外反射层；S2.以纯钛为靶材，以氩气和氮气的混合气体作为溅射气体，采用磁控溅射在金属红外反射层上制备第一吸收层；S3.保持步骤S2中的靶材和溅射气体种类不变，减小溅射电流，同时减少氮气流量，在第一吸收层上制备第二吸收层；S4.制备光学减反射层。采用本发明提供的方法，大大简化了中高温太阳能吸收涂层制备的生产工艺，且因钛原料便宜而降低了成本，并节省了生产时间；反应气体只需用到氮气，无需氧气，这进一步简化了工艺，不但节省了气体来回切换的时间，还降低了氧化反应造成靶中毒、阳极消失的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 含钛中 高温 太阳能 吸收 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种含钛中高温太阳能吸收涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1.选择基体，在基体上制备一层金属红外反射层；S2.以纯钛为靶材，以氩气和氮气的混合气体作为溅射气体，采用磁控溅射在金属红外反射层上制备第一吸收层，其中氩氮流量比为4:1~6:1，开启钛靶电源，使溅射电流为1.0A~1.5A，使溅射电压不低于450V，得到第一吸收层厚度为150nm~200nm；S3.保持步骤S2中的靶材和溅射气体种类不变，在第一吸收层上制备第二吸收层，使氩氮流量比为10:1~15:1，溅射电流为0.5A~0.9A，保持溅射电压不低于400V，得到第二吸收层厚度为50nm~100nm；S4.制备光学减反射层。
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