[发明专利]一种金属化学机械抛光浆料及其应用在审
| 申请号： | 201210528946.6 | 申请日： | 2012-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN103866326A | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 荆建芬;张建;蔡鑫元 | 申请（专利权）人： | 安集微电子（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23F3/04 | 分类号： | C23F3/04 |
| 代理公司： | 上海翰鸿律师事务所 31246 | 代理人： | 李佳铭 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区张*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种用于铜的化学机械抛光浆料及其应用，该浆料包括研磨颗粒、络合剂、氧化剂，腐蚀抑制剂，和至少一种磷酸酯类表面活性剂。使用本发明的浆料的可以保持较高的铜的去除速率，改善抛光后铜线的碟形凹陷和过抛窗口，抛光后的铜表面污染物少，无腐蚀等缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 化学 机械抛光 浆料 及其 应用 | ||
【主权项】：
一种金属化学机械抛光浆料，包括研磨颗粒、络合剂、腐蚀抑制剂、氧化剂，其特征在于，还至少含有一种磷酸酯类表面活性剂。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安集微电子（上海）有限公司，未经安集微电子（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210528946.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：除铁除锰式卫生输配水设备
- 下一篇：一种化学机械抛光液
