[发明专利]偏振照明装置及偏振照明方法有效
| 申请号： | 201210525295.5 | 申请日： | 2012-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN103869625A | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 马明英;段立峰 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B27/28;G02B27/09 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种偏振照明装置及照明方法，该装置包括沿光轴方向依次设置的光路传输单元、偏振控制单元以及光束整形单元，偏振控制单元能够将来自光路传输单元的光束中的两种偏振光变成所需的同种偏振光并将同种偏振光汇集后传输至光束整形单元，光束整形单元将来自偏振控制单元的光束宽度调整为与偏振控制单元的入射光束宽度一致，通过采用偏振控制单元能够将来自光路传输单元的光束中的两种偏振光变成所需的同种偏振光并将同种偏振光汇集后传输至光束整形单元，从而可利用来自光路传输单元的光束中的两种偏振光，有效防止光能的损失，光束整形单元将来自偏振控制单元的光束宽度调整为与偏振控制单元的入射光束宽度一致的光束，以便后续利用。 | ||
| 搜索关键词： | 偏振 照明 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种偏振照明装置，其特征在于，包括沿光轴方向依次设置的光路传输单元、偏振控制单元以及光束整形单元，所述偏振控制单元能够将来自所述光路传输单元的光束中的两种偏振光变成所需的同种偏振光并将所述同种偏振光汇集后传输至所述光束整形单元，所述光束整形单元将来自所述偏振控制单元的光束宽度调整为与所述偏振控制单元的入射光束宽度一致。
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