[发明专利]一种采用大尺寸坩埚铸锭类单晶的方法有效
| 申请号： | 201210520672.6 | 申请日： | 2012-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN102936747A | 公开（公告）日： | 2013-02-20 |
| 发明（设计）人： | 刘卓冰;杨明珍;刘俊;兰洵;林洪峰;张凤鸣 | 申请（专利权）人： | 天威新能源控股有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 谢敏 |
| 地址： | 610000 四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种采用大尺寸坩埚铸锭类单晶的方法，包括以下步骤：（a）选用外径大于878mm、内径大于840mm的坩埚，将硅料置于坩埚中；（b）采用石墨加热器对坩埚进行加热，将加热模式选为功率控制模式，压力模式选为真空模式；（c）加热硅料至熔化后，将加热模式改为温度控制模式，同时将压力模式改为气体模式；（d）开始长晶，将加热模式保持为温度控制模式，压力模式保持为气体模式；（e）长晶结束后，开始退火；（f）退火结束后，开始冷却。本发明采用上述工艺，能够提高类单晶铸锭的大晶粒比例，有效控制硅块内部缺陷和杂质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 采用 尺寸 坩埚 铸锭 类单晶 方法 | ||
【主权项】：
一种采用大尺寸坩埚铸类单晶的方法，其特征在于：包括以下步骤：（a）、选用外径大于878mm、内径大于840mm的坩埚，将硅料置于坩埚中；（b）、采用石墨加热器对坩埚进行加热，将加热模式选为功率控制模式，压力模式选为真空模式；（c）、加热硅料至熔化后，将加热模式改为温度控制模式，同时将压力模式改为气体模式；（d）、开始长晶，将加热模式保持为温度控制模式，压力模式保持为气体模式；（e）、长晶结束后，开始退火，加热模式先采用温度控制模式，再改为功率控制模式，压力模式保持为气体模式；（f）、退火结束后，开始冷却，加热模式转换为功率控制模式，压力模式继续保持为气体模式。
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