[发明专利]一种高功率汞灯灯室装置有效
| 申请号： | 201210476905.7 | 申请日： | 2012-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN103836596A | 公开（公告）日： | 2014-06-04 |
| 发明（设计）人： | 陈旻峰 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F21V29/02 | 分类号： | F21V29/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种高功率汞灯灯室装置，其特征在于，包括：灯室，上冷却水套，椭球反射镜冷却水套，抽排风管，冷却水自动流量调节阀，抽排风自动流量调节阀以及智能流量控制系统；所述上冷却水套与椭球反射镜冷却水套连接，将汞灯局部封闭在其中；所述抽排风管形成特定风道；所述智能流量控制系统自动控制冷却水自动流量调节阀及抽排风自动流量调节阀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 功率 汞灯灯室 装置 | ||
【主权项】：
一种高功率汞灯灯室装置，其特征在于，包括：灯室，上冷却水套，椭球反射镜冷却水套，抽排风管，冷却水自动流量调节阀，抽排风自动流量调节阀以及智能流量控制系统；所述上冷却水套与椭球反射镜冷却水套连接，将汞灯局部封闭在其中；所述抽排风管形成特定风道；所述智能流量控制系统自动控制冷却水自动流量调节阀及抽排风自动流量调节阀。
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