[发明专利]一种光刻的前烘工艺无效
| 申请号： | 201210457898.6 | 申请日： | 2012-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN103809391A | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 张恒 | 申请（专利权）人： | 张恒 |
| 主分类号： | G03F7/38 | 分类号： | G03F7/38 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 王澎 |
| 地址： | 264003 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种光刻的前烘工艺，其特征在于，所述工艺方法如下：正胶—在温度设置为98℃烘箱中烘烤20分钟；负胶—温度设置为95℃平板加热器1分钟。本工艺在甩胶后增加前烘工艺，能够有效的去除胶膜中的溶剂，增加胶膜的耐磨性、黏附性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 工艺 | ||
【主权项】：
一种光刻的前烘工艺，其特征在于，所述工艺方法如下：正胶—在温度设置为98℃烘箱中烘烤20分钟；负胶—温度设置为95℃平板加热器1分钟。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于张恒，未经张恒许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210457898.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：加工轨迹自动获取式轮廓控制数控机床
- 下一篇：显示屏
