[发明专利]一种缺陷检测的方法无效
| 申请号： | 201210432309.9 | 申请日： | 2012-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN102937597A | 公开（公告）日： | 2013-02-20 |
| 发明（设计）人： | 倪棋梁;陈宏璘;龙吟;郭明升 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种缺陷检测的方法。本发明提出一种缺陷检测的方法，通过采用完整的芯片扫描获得电路密度分布图，并以该电路密度分布图设定多个缺陷检测区域，进而利用该缺陷检测区域进行芯片的缺陷检测分析工艺，由于能精准的划分不同电路密度的检测区域，以提高缺陷检测的精度，有效的降低工程师的工作量，从而提高工程师在缺陷检测工艺中的工作效率，进而降低设备的生产时间，大大的提高了检测工艺的生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 缺陷 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种缺陷检测的方法，其特征在于， 提供一个完整的芯片；扫描所述完整的芯片，获得该完整的芯片的电路密度分布图；根据所述电路密度分布图，设定待检测芯片的多个缺陷检测区域；利用所述多个缺陷检测区域，对所述待检测芯片进行缺陷检测分析。
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