[发明专利]一种硅太阳能电池连续通过式扩散方法

摘要

本发明涉及一种硅太阳能电池连续通过式扩散方法，其扩散步骤主要分为两步：（1）载入桨叶放置有携带硅片的石英舟在即将进入恒温区后，以25-75mm/min的速度继续前进，当桨叶上的石英舟位于扩散炉恒温区的中心区域时，载入桨叶停止前进；载出桨叶以较快速度进入中心区域等待交接。（2）载入桨叶以10-30mm/min速度下降，同时石英舟交接至与载入桨叶交错设置的载出桨叶上，载入桨叶以300-800mm/min的速度退出扩散炉后上升至最原始位置准备重新装载硅片，载出桨叶以25-75mm/min的速度缓慢退出恒温区，等待卸载石英舟。同批次硅片在以上的扩散过程实现每一片硅片以25-75mm/min的速度均匀通过1米恒温区，从而使每一片硅片的方块电阻的方差大幅减小提高太阳能电池性能。

主权项

一种硅太阳能电池连续通过式扩散方法，其特征在于扩散操作步骤为如下两大步骤：1）、 放置有携带硅片的石英舟（4）的载入桨叶（1）以150‑300mm/min的速度从左端进入扩散炉（2）内，载出桨叶（5）以150‑300mm/min的速度从右端进入扩散炉（2）内，当载出桨叶（5）到达恒温区（3）内时停止前进，当载入桨叶（1）上的最前端硅片即将进入恒温区（3）时，载入桨叶（1）以25‑75mm/min的速度继续前进，当载入桨叶（1）上的石英舟（4）位于扩散炉（2）的恒温区（3）的中心区域时，载入桨叶（1）停止前进；2）、 载入桨叶（1）通过升降机构，以10‑30mm/min速度下降，同时石英舟（4）交接至与载入桨叶（1）交错设置的载出桨叶（5）上，载入桨叶（1）以300‑800mm/min的速度退出扩散炉（2）后以20‑50mm/min的速度上升至最原始位置准备重新装载硅片，载出桨叶（5）以25‑75mm/min的速度缓慢退出恒温区（3），当石英舟（4）上最左边的硅片退出恒温区（3）后，载出桨叶（5）以150‑300mm/min的速度退出扩散炉（2），等待卸载石英舟（4）；同批次硅片在确保恒温区的功率一致，恒温区的每个单点扩散气体浓度一致的情况下，以上述扩散过程实现每一片硅片以25‑75mm/min的速度均匀通过1米恒温区（3），实现每一片硅片经过同样的扩散环境，保证每一片硅片以同等的速度均匀经过恒温区（3）同时完成扩散，使每一片硅片的方块电阻的方差大幅减小提高太阳能电池性能。