[发明专利]芯片上的球形光学微腔及其制备方法无效
| 申请号： | 201210397823.3 | 申请日： | 2012-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN102874741A | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 姜校顺;华士跃;肖敏 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210093*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种芯片上的球形光学微腔，所述球形光学微腔由锥形硅支撑。与现有技术相比，本发明的芯片上的球形光学微腔尺寸可控、易于集成和保存。本发明还公开了芯片上的球形光学微腔的制备方法，制备方法简单，制得的芯片上的球形光学微腔尺寸可控、品质因子高、易于集成和保存。 | ||
| 搜索关键词： | 芯片 球形 光学 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种芯片上的球形光学微腔，其特征在于：所述球形光学微腔由锥形硅支撑。
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