[发明专利]蚀刻液及形成图案化多层金属层的方法有效
| 申请号： | 201210384822.5 | 申请日： | 2012-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN102912350A | 公开（公告）日： | 2013-02-06 |
| 发明（设计）人： | 林舒瑶;曹智强;吕婉婷 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18;H01L21/28;H05K3/06 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁挥;鲍俊萍 |
| 地址： | 中国台湾新竹科*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种蚀刻液及形成图案化多层金属层的方法，该蚀刻液用以蚀刻形成图案化多层金属层。蚀刻液包括二价铜离子、氨水、磷酸铵溶液与有机铵盐。一种形成图案化多层金属层的方法也被提出。首先，提供前述蚀刻液。接着，形成多层金属层于基板上。之后，以蚀刻液蚀刻多层金属层以形成图案化多层金属层。本发明的蚀刻液具有良好的稳定性且在使用过程中不会产生氧气。另外，使用本发明的蚀刻液来形成图案化的多层金属层时，蚀刻液对于多层金属层之间蚀刻率差异小。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 形成 图案 多层 金属 方法 | ||
【主权项】：
一种蚀刻液，用以蚀刻形成一图案化多层金属层，其特征在于，该蚀刻液包括二价铜离子、氨水、磷酸铵溶液与有机铵盐。
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