[发明专利]一种密闭腔体中的样品台有效
申请号: | 201210384369.8 | 申请日: | 2012-10-11 |
公开(公告)号: | CN102903593A | 公开(公告)日: | 2013-01-30 |
发明(设计)人: | 杨之青;刘敦一 | 申请(专利权)人: | 中国地质科学院地质研究所 |
主分类号: | H01J49/04 | 分类号: | H01J49/04 |
代理公司: | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人: | 马佑平 |
地址: | 100037 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种样品台,置于密闭腔体中,包括:运动模块,其第一表面和第二表面上沿第一方向对应设置有第一导轨,第三表面和第四表面上沿第二方向对应设置有第二导轨,第一方向与第二方向正交,第一导轨与第二导轨之间有间隔;第一导向模块,具有沿第一方向设置的第三导轨,并与沿第二方向设置的第一传动杆的一端连接,所述第三导轨与第一导轨相配合;第二导向模块,具有沿第二方向设置的第四导轨,并与沿第一方向设置的第二传动杆的一端连接,所述第四导轨与第二导轨相配合;所述导轨为交叉滚柱导轨,所述第一传动杆以及第二传动杆的另一端置于密闭腔体外。该样品台为机械配合设计,保证密闭腔体的真空度。 | ||
搜索关键词: | 一种 密闭 中的 样品 | ||
【主权项】:
一种样品台,置于密闭腔体中,其特征在于,包括:运动模块,所述运动模块包括相对设置的第一表面和第二表面,以及相对设置的第三表面和第四表面,第一表面和第二表面上沿第一方向对应设置有第一导轨,第三表面和第四表面上沿第二方向对应设置有第二导轨,第一方向与第二方向正交,第一导轨与第二导轨之间有间隔;第一导向模块,具有沿第一方向设置的第三导轨,并与沿第二方向设置的第一传动杆的一端连接,所述第三导轨与第一导轨相配合;第二导向模块,具有沿第二方向设置的第四导轨,并与沿第一方向设置的第二传动杆的一端连接,所述第四导轨与第二导轨相配合;其中,所述导轨为交叉滚柱导轨,所述第一传动杆以及第二传动杆的另一端置于密闭腔体外,并分别连接位于密闭腔体外的驱动机构。
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