[发明专利]致动器和光扫描装置有效
| 申请号： | 201210379990.5 | 申请日： | 2012-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN103036471A | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 关根久通;阿贺寿典;丸山佑纪 | 申请（专利权）人： | 三美电机株式会社 |
| 主分类号： | H02N2/00 | 分类号： | H02N2/00;H01L41/04;H01L41/09;G02B26/10 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 张敬强;严星铁 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的是提供能够防止绝缘破坏的致动器和光扫描装置。一种致动器，由驱动梁、形成在所述驱动梁上的下部电极、设置在所述下部电极上的压电元件、和设置在所述压电元件上的上部电极层叠构成，该致动器具有：上部配线，其连接用于将电压供应到形成在所述驱动梁上的所述上部电极的配线和所述上部电极；以及绝缘部，其形成在所述上部配线下以覆盖所述下部电极的端部，将所述上部电极与所述下部电极绝缘，所述绝缘部具有向所述上部配线的宽度方向的所述上部配线两侧扩张的绝缘扩张部。 | ||
| 搜索关键词： | 致动器 扫描 装置 | ||
【主权项】：
一种致动器，由驱动梁、形成在所述驱动梁上的下部电极、设置在所述下部电极上的压电元件、和设置在所述压电元件上的上部电极层叠构成，该致动器的特征在于，具有：上部配线，其连接用于将电压供应到形成在所述驱动梁上的所述上部电极的配线和所述上部电极；以及绝缘部，其形成在所述上部配线下以覆盖所述下部电极的端部，将所述上部电极与所述下部电极绝缘，所述绝缘部具有向所述上部配线的宽度方向的所述上部配线两侧扩张的绝缘扩张部。
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