[发明专利]一种高稳定长寿命气体离子源

摘要

本发明公布了一种高稳定长寿命气体离子源的新结构。在该结构中，波导采用脊波导设计，脊波导外围加磁场。与波导连接的微波窗位于离子源的中上部，微波窗下端高于离子源的中心，微波窗上面有一个高压电子发射装置，用于产生电子使离子源更容易产生稳定的等离子体。这一独特设计使ECR离子源从根本上避免了高能返流二次电子束对微波窗的破坏，从而提高ECR离子源寿命，使其连续工作寿命在一年以上，达到工业生产设备长期稳定运行的条件。

主权项

一种单电荷态微波气体离子源，包括波导(1)、放电室(8)、励磁线圈(6)、真空室(10)、电子点火装置(15)、加速电极(12)等几部分，其中波导(1)通过微波窗(5)同放电室(8)一端相连，放电室(8)周围缠绕励磁线圈(6)，另一端的离子出口(11)与真空室相连，在离子束的引出通道上设置加速电极(12)，其特征在于：所述微波窗为圆形陶瓷微波窗，微波窗位于离子源放电室中线的上方。