[发明专利]一种高稳定长寿命气体离子源

权利要求书

1.一种单电荷态微波气体离子源，包括波导(1)、放电室(8)、励磁线圈(6)、真空室(10)、电子点火装置(15)、加速电极(12)等几部分，其中波导(1)通过微波窗(5)同放电室(8)一端相连，放电室(8)周围缠绕励磁线圈(6)，另一端的离子出口(11)与真空室相连，在离子束的引出通道上设置加速电极(12)，其特征在于：所述微波窗为圆形陶瓷微波窗，微波窗位于离子源放电室中线的上方。

2.根据权利要求1所述离子源，其特征在于：所述的波导(1)内有两个脊波导(2)，波导(1)外有两个永磁体(3)。

3.根据权利1所述离子源，其特征在于：放电室(8)左侧大法兰(4)中心有一圆锥孔(6)，其直径大于返流电子束截面。

4.根据权利1所述离子源，其特征在于：放电室(8)左侧有一高压点火装置，可以解决离子源运行过程中可能遇到的不能形成等离子体的情况。

5.根据权利1所述离子源，其特征在于：放电室(8)内壁称氮化硼材料。

6.根据权利1所述离子源，其特征在于：大法兰(4)内部通冷却水(13)进行强制冷却。

7.根据权利3所述离子源，其特征在于：大法兰(4)内部通冷却水(13)进行强制冷却。

8.根据权利3所述离子源，其特征在于：微波窗(5)位于圆锥孔(6)上方。