[发明专利]移动加热器法生长碲锌镉晶体的装置

摘要

本发明公开了一种移动加热器法生长碲锌镉晶体的装置，设有高频电磁感应加热器和上下电阻加热炉，上下电阻加热炉形成生长炉体中间加热段的保温区，伺服旋转机构驱动氧化铝支撑杆带动石英料管转动，伺服直线移动机构驱动生长炉体在竖直方向上进行升降运动，控制系统控制高频电磁感应加热器和上下电阻加热炉的输出功率，并控制伺服旋转机构并使碲锌镉晶体生长材料处于生长炉体的中间加热段，控制系统控制伺服直线移动机构匀速上升，同时控制伺服旋转机构使石英料管匀速旋转。本发明装置制备碲锌镉晶体，能降低了晶体生长温度，减少了杂质污染，同时区熔过程的存在对晶体起到了提纯的作用，最终获得高纯度的碲锌镉晶体，完全符合作为探测器材料要求。

主权项

一种移动加热器法生长碲锌镉晶体的装置，包括炉架（7）、设置于所述炉架（7）上方的生长炉体，装载碲锌镉晶体生长材料的石英料管置于氧化铝支撑杆上，氧化铝支撑杆置于所述生长炉体内，循环冷却水系统（3）和搜书生长炉体共同控制晶体生长过程的温度，其特征在于：所述生长炉体竖直安装，所述生长炉体的中间加热段设有高频电磁感应加热器（2），所述生长炉体的上段和下段为上下电阻加热炉（1），所述上下电阻加热炉（1）形成所述生长炉体中间加热段的保温区，所述氧化铝支撑杆的底端与伺服旋转机构（5）的旋转主轴传动端同轴固定连接，所述伺服旋转机构（5）驱动所述氧化铝支撑杆带动石英料管转动，所述生长炉体的外部还设有伺服直线移动机构（4），所述伺服直线移动机构（4）驱动所述生长炉体在竖直方向上进行升降运动，所述伺服旋转机构（5）和所述伺服直线移动机构（4）的指令信号输入端与控制系统（6）的信号输出端信号连接， 在碲锌镉晶体生长过程中，红外测温仪监测碲锌镉晶体生长点的温度，并将温度数值反馈给所述控制系统（6），所述控制系统（6）控制所述高频电磁感应加热器（2）和所述上下电阻加热炉（1）的输出功率，从而使碲锌镉晶体生长温度稳定在设定值，所述控制系统（6）控制所述伺服旋转机构（5）并使碲锌镉晶体生长材料处于所述生长炉体的中间加热段，所述控制系统（6）控制所述伺服直线移动机构（4）匀速上升，同时控制所述伺服旋转机构（5）使所述石英料管匀速旋转。