[发明专利]操作激光扫描器的方法和具有激光扫描器的加工系统有效
| 申请号： | 201210346554.8 | 申请日： | 2012-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN102922127A | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | H·多默;R·罗森克兰兹 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;B23K26/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本公开提供了一种操作激光扫描器的方法以及一种加工系统。所述方法包括使用所述激光扫描器沿着扫描路径扫描激光束，并且检测由所述激光束入射到检测截面上的激光产生的光强度；以及基于所检测的光强度确定所述检测截面相对于所述激光扫描器的位置；其中所述扫描路径在包含所述检测截面的平面中包括彼此邻近且彼此相距一距离延伸的第一部分路径和第二部分路径，所述距离小于所述检测截面的直径加上所述激光束在包含所述检测截面的平面内的直径，并且大于所述激光束在包含所述检测截面的平面内的直径的0.3倍或大于所述检测截面的直径的0.3倍。 | ||
| 搜索关键词： | 操作 激光 扫描器 方法 具有 加工 系统 | ||
【主权项】：
一种操作激光扫描器的方法，所述方法包括：使用所述激光扫描器沿着扫描路径扫描激光束，并且检测由所述激光束入射到检测截面上的激光产生的光强度；以及基于所检测的光强度确定所述检测截面相对于所述激光扫描器的位置；其中所述扫描路径在包含所述检测截面的平面中包括彼此邻近且彼此相距一距离延伸的第一部分路径和第二部分路径，所述距离小于所述检测截面的直径加上所述激光束在包含所述检测截面的平面内的直径，并且大于所述激光束在包含所述检测截面的平面内的直径的0.3倍或大于所述检测截面的直径的0.3倍。
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