[发明专利]一种触摸屏的刻蚀方法无效
| 申请号： | 201210345409.8 | 申请日： | 2012-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN102879998A | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 杨春云;余汉水;郑志雄;陈凯;李益芳;黄海东 | 申请（专利权）人： | 深圳力合光电传感技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G06F3/041 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 518132 广东省深圳市光明新区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于电子产品技术领域，具体地，本发明提供一种触摸屏的刻蚀方法，包括以下步骤：(1)在PET-ITO-铜膜复合材料的铜膜外侧涂覆感光胶，固化得到感光胶层，并进行第一次曝光及显影；(2)用铜膜刻蚀液对铜膜进行第一次刻蚀；(3)用ITO刻蚀液对ITO膜进行刻蚀；(4)对铜膜进行第二次曝光及显影；(5)用铜膜刻蚀液对铜膜进行第二次刻蚀。本发明的刻蚀方法避免了传统方法中铜膜被腐蚀的情况，并显著减小了铜电极线宽。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 触摸屏 刻蚀 方法 | ||
【主权项】：
一种触摸屏的刻蚀方法，包括以下步骤：(1)在PET‑ITO‑铜膜复合材料的铜膜外侧涂覆感光胶，固化得到感光胶层，并进行第一次曝光及显影；(2)用铜膜刻蚀液对所述铜膜进行第一次刻蚀；(3)用ITO刻蚀液对所述ITO膜进行刻蚀；(4)对所述铜膜进行第二次曝光及显影；(5)用铜膜刻蚀液对所述铜膜进行第二次刻蚀。
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