[发明专利]光刻用防尘薄膜组件以及其制造方法

摘要

本发明提供一种防尘薄膜组件,对光掩模接着剂的成形形状进行调整,由此,该防尘薄膜组件在向光掩模贴附时,即使加压，光掩模接着剂4也不会向防尘薄膜组件的内侧膨出。本发明的防尘薄膜组件包括:防尘薄膜3、将防尘薄膜绷紧贴附的防尘薄膜组件框架1、防尘薄膜组件框架的一个端面上形成以便将防尘薄膜进行接着的接着剂2以及在与膜接着剂相反侧的一端面形成的光掩模接着用粘着剂4，所述光掩模接着用粘着剂4的截面形状为矩形为梯形，并且，所述侧壁面与框架面所成的角α为90°以下。

主权项

一种光刻用防尘薄膜组件，包括防尘薄膜、将所述防尘薄膜绷紧设置的防尘薄膜组件框架、所述防尘薄膜组件框架的一个端面形成的防尘薄膜贴附用的接着剂层、与所述防尘薄膜贴附用接着剂层相反侧的端面形成的光掩模粘着剂层，其特征在于:所述光掩模粘着剂层的截面为矩形或梯形，上端具有平坦面，并且，所述光掩模粘着剂层的侧面与框架面所成的角为90°以下。