[发明专利]研磨液传送臂无效
| 申请号： | 201210325693.2 | 申请日： | 2012-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN103659581A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 蔡晨;张震宇 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B57/02 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 丁纪铁 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种研磨液传送臂，是在半导体制造工艺中的CMP过程中，由于研磨生成物累积在抛光垫上，降低了研磨工艺的稳定性。本发明在传统研磨液传送臂上加装尼龙排刷，在研磨过程中，研磨生成物能被尼龙排刷及时清理，保持抛光垫的粗糙度，提高工艺性能。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 传送 | ||
【主权项】：
一种研磨液传送臂，悬伸于可旋转的研磨台上，其支撑部位于研磨台之外，研磨台上铺设抛光垫，其特征在于：研磨液传送臂包含传送臂，喷头及排刷；传送臂，为一长条硬杆，其正视角度是呈矩形，俯视则具有一弯折处，使传送臂弯折为具有一定角度的两区段，一段为固定在研磨台区域外设备上的支撑段，另一段为悬浮在研磨台上方的悬空段；喷头，位于悬空段的顶端，伸出方向沿区段长度方向并向抛光垫倾斜，用于向抛光垫喷洒研磨液；排刷，固定装设于传送臂的悬空段上，其刷毛与抛光垫接触。
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