[发明专利]升降机构和具有其的基片装载设备

摘要

本发明公开了一种升降机构，包括：驱动器；内限定出升降通道的壳体，壳体的上下两端分别设置有第一端盖和第二端盖用于封闭升降通道；滚珠丝杠，滚珠丝杠设置在升降通道内且包括相互配合的丝杠和丝杠螺母，丝杠的下端连接在第二端盖上且由驱动器驱动转动；升降杆，升降杆设在丝杠螺母的上表面上且同轴地套设在丝杠外，且升降杆的上端穿过第一端盖；波纹管，波纹管设在第一端盖上且套设在升降杆外，且波纹管的顶部设有升降台；以及用于制动丝杠运动的制动单元。根据本发明实施例的升降机构，提高了运动过程中丝杠的导向精度，且升降机构安装和维护方便。本发明还公开了一种具有上述升降机构的基片装载设备。

主权项

一种升降机构，其特征在于，包括：驱动器；壳体，所述壳体内限定出升降通道，所述壳体的上下两端分别设置有第一端盖和第二端盖用于封闭所述升降通道；滚珠丝杠，所述滚珠丝杠设置在所述升降通道内且包括相互配合的丝杠和丝杠螺母，所述丝杠的下端连接在所述第二端盖上且由所述驱动器驱动转动；升降杆，所述升降杆设在所述丝杠螺母的上表面上且同轴地套设在所述丝杠外以便由所述丝杠螺母推动所述升降杆上下移动，且所述升降杆的上端穿过所述第一端盖；波纹管，所述波纹管设在所述第一端盖上且套设在所述升降杆外，且所述波纹管的顶部设有升降台；以及制动单元，用于制动所述丝杠的转动运动。