[发明专利]光刻物镜中光学元件高精度支撑结构无效
| 申请号： | 201210312922.7 | 申请日： | 2012-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN102854597A | 公开（公告）日： | 2013-01-02 |
| 发明（设计）人： | 赵磊;巩岩;于新峰;彭海峰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B7/02 | 分类号： | G02B7/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 南小平 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 光刻物镜中光学元件高精度支撑结构，属于深紫外投影光刻物镜结构设计与像差补偿领域，为解决光刻物镜中光学元件高精度支撑问题，本发明结构包括镜框和整体弹片，所述整体弹片与镜框之间通过若干螺钉固定；所述镜框内环周向均匀分布三处径向挠性弹片，所述三处径向挠性弹片和镜框为一体式结构；所述整体弹片具有若干整体弹片支撑片，所述三处径向挠性弹片与若干整体弹片支撑片沿周向均匀分布；所述三处径向挠性弹片支撑处的形状与光学元件下表面相适应；当光学元件由于热载荷等膨胀时，镜框由于径向挠性弹片的存在能够适应性地伸缩，所述三处径向挠性弹片支撑处的形状与光学元件下表面接触处形状相吻合，从而实现光刻物镜中光学元件高精度支撑。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 物镜 光学 元件 高精度 支撑 结构 | ||
【主权项】：
光刻物镜中光学元件高精度支撑结构，包括镜框（2）和整体弹片（3），其特征在于，所述整体弹片（3）与镜框（2）之间通过若干螺钉（4）固定。
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