[发明专利]环状屏蔽部件、其构成零件和基板载置台

摘要

本发明提供一种防止在环状屏蔽部件的构成零件和基板载置台之间产生间隙并能够防止构成零件破损的环状屏蔽部件。屏蔽环（15）由四个环构成零件（41）~（44）构成，在各环构成零件（41）~（44）的长度方向上的固定端设置有全方向移动限制部（45），单方向移动容许部（46）与全方向移动限制部（45）离开地设置，例如以一个环构成零件（41）的固定端（41a）的端面与相邻的另一环构成零件（43）的自由端（43b）的侧面抵接，一个环构成零件（41）的自由端（41b）的侧面与相邻的又一环构成零件（44）的固定端（44a）的端面抵接的方式，组合各环构成零件（41）~（44）。

主权项

一种环状屏蔽部件的构成零件，其在对矩形的基板实施等离子体处理的基板处理装置的处理室内以包围载置所述基板的基板载置台的矩形的载置面的周围的方式设置，所述环状屏蔽部件的构成零件的特征在于：包括沿所述矩形的载置面的一边配置的绝缘性的长尺寸状物件，具有：第一移动限制部，其设置于该长尺寸状物件的长度方向上的一端，限制所述构成零件的全方向上的移动；第二移动限制部，在所述长度方向上与所述第一移动限制部离开地设置，限制所述构成零件的所述长度方向以外的移动；和将所述构成零件连结到所述基板载置台的至少一个连结部。