[发明专利]酸性蚀刻液循环再生设备

摘要

发明公开了一种酸性蚀刻液循环再生设备，包括中转缸和电解槽，电解槽包括阳极电解槽和阴极电解槽，阳极电解槽和阴极电解槽之间通过离子交换膜隔开，所述中转缸分别连接阳极电解槽和阴极循环槽，阳极电解槽通过溢流管与阳极循环槽连通，阳极循环槽设有加热管和再生子液出口管，阴极循环槽通过输水管与阴极电解槽连通，阴极循环槽内还设有冷却管，所述阴极电解槽设有排液管和与阴极循环槽连通的回流管Ⅰ。本发明的优点在于：本发明设计的这种酸性蚀刻液循环再生设备，能够将酸性蚀刻废液处理回收利用，并具有效率高，成本低，无任何排放的优点。

主权项

酸性蚀刻液循环再生设备，其特征在于： 包括中转缸（7）和电解槽（24），电解槽（24）包括阳极电解槽（17）和阴极电解槽（15），阳极电解槽（17）和阴极电解槽（15）之间通过离子交换膜（25）隔开，所述中转缸（7）分别连接阳极电解槽（17）和阴极循环槽（11），阳极电解槽（17）通过溢流管（18）与阳极循环槽（21）连通，阳极循环槽（21）设有加热管（22）和再生子液出口管（20），阴极循环槽（11）通过输水管（12）与阴极电解槽（15）连通，阴极循环槽（11）内还设有冷却管（10），所述阴极电解槽（15）设有排液管（16）和与阴极循环槽（11）连通的回流管Ⅰ（14）。