[发明专利]酸性蚀刻液循环再生设备

权利要求书

1.酸性蚀刻液循环再生设备，其特征在于： 包括中转缸（7）和电解槽（24），电解槽（24）包括阳极电解槽（17）和阴极电解槽（15），阳极电解槽（17）和阴极电解槽（15）之间通过离子交换膜（25）隔开，所述中转缸（7）分别连接阳极电解槽（17）和阴极循环槽（11），阳极电解槽（17）通过溢流管（18）与阳极循环槽（21）连通，阳极循环槽（21）设有加热管（22）和再生子液出口管（20），阴极循环槽（11）通过输水管（12）与阴极电解槽（15）连通，阴极循环槽（11）内还设有冷却管（10），所述阴极电解槽（15）设有排液管（16）和与阴极循环槽（11）连通的回流管Ⅰ（14）。

2.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液循环再生设备，其特征在于：所述中转缸（7）包括废水进口管（1）和中转缸出水管，中转缸出水管上设有送水泵（3），送水泵（3）的出口管连接有阳极电解槽进口管（23）、回流管Ⅱ（4）、阴极循环槽进口管（8），阳极电解槽进口管（23）上设有控制开关b（2）并与阳极电解槽（17）连通，回流管Ⅱ（4）上设有控制开关c（5）并与中转缸（7）连通，阴极循环槽进口管（8）上设有控制开关d（6）并与阴极循环槽（11）连通。

3.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液循环再生设备，其特征在于：所述输水管（12）设有输水泵（13），输水泵（13）出口管连接有回流管Ⅲ（9），回流管Ⅲ（9）设有回流开关并与中转缸（7）连通。

4.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液循环再生设备，其特征在于：所述再生子液出口管（20）设有控制开关a（19）。

5.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液循环再生设备，其特征在于：所述酸性蚀刻液循环再生设备连接有PLC自动控制系统。