[发明专利]基于空间像线性拟合的投影物镜波像差检测系统和方法

摘要

一种用于光刻机的基于空间像线性拟合的投影物镜波像差检测系统和方法。本发明采用6个方向孤立空作检测标记，通过对检测标记空间像的线性拟合来得到波像差。本发明首先建立描述0°孤立空空间像与泽尼克像差关系的线性拟合矩阵以及描述孤立空方向影响的旋转矩阵。然后通过空间像传感器扫描获得检测标记的空间像。再利用线性拟合矩阵和旋转矩阵对空间像进行最小二乘拟合得到泽尼克像差。本发明降低了检测标记的复杂程度，减少了像差检测的时间，增加了可测像差种类，提高了像差求解的精度。

主权项

一种用于光刻机的基于空间像线性拟合的投影物镜波像差检测系统，包括产生照明光束的照明光源；调整照明光强分布和部分相干因子大小的照明系统；用于承载掩模，并具有精确定位能力的掩模台；将通过测试掩模上的检测标记的光束汇聚到硅片面且数值孔径可调的投影物镜；承载硅片并具有三维扫描能力和精确定位能力的工件台；安装在工件台上的像传感器，与所述像传感器相连并进行数据处理的计算机，其特点在于：所述检测标记由一组分别位于0°、30°、45°、90°、135°、150°方向的孤立空图形组成，各个方向的图形的线宽都为CD nm，周期都为P nm；所述的像传感器为CCD或透射像传感器，所述的像传感器能够在水平方向和垂轴方向进行扫描，水平方向和垂直方向定位精度都高于30nm。