[发明专利]用于对齐晶片以用于制造的系统和方法

摘要

所描述的是用于对齐晶片以用于制造的基于计算机的方法和装置，包括计算机程序产品。从第一图像捕捉设备接收晶片的第一部分的第一图像。从第二图像捕捉设备接收晶片的第二部分的第二图像，其中图像捕捉设备变换式定义了第一图像捕捉设备和第二图像捕捉设备之间的第一关系。基于图像捕捉设备变换式、基准变换式、和被设置为标识晶片上的低对比度基准图案的阈值，第一图像中的第一基准图案和第二图像中的第二基准图案被标识，该基准变换式基于晶片的规格定义了第一基准图案和第二基准图案之间的第二关系。基于所标识出的第一和第二基准图案而确定晶片的对齐。

主权项

用于对齐太阳能晶片以用于制造的计算机化的方法，所述方法包括：通过计算设备，从第一图像捕捉设备，接收太阳能晶片的第一部分的第一图像，其中所述太阳能晶片包括一组基准图案，其中每一个基准图案的姿态是由所述晶片的规格所定义的；通过所述计算设备，从第二图像捕捉设备，接收所述太阳能晶片的第二部分的第二图像，其中图像捕捉设备变换式定义了所述第一图像捕捉设备和所述第二图像捕捉设备之间的第一关系；通过所述计算设备，基于下述而标识所述第一图像中的第一基准图案和所述第二图像中的第二基准图案：所述图像捕捉设备变换式；基准变换式，其基于所述规格而定义所述第一基准图案和所述第二基准图案之间的第二关系；和阈值，被设置为标识太阳能晶片上的低对比度基准图案；且通过所述计算设备，基于所标识出的所述第一基准图案和所述第二基准图案而确定所述太阳能晶片的对齐。