[发明专利]芯片在线清洗干燥设备

摘要

本发明公开了一种芯片在线清洗干燥设备，包括自动进料机构、喷淋式清洗装置、真空干燥设备、定位台。所述真空干燥设备包括机架，机架的中部设置衔接清洗机的一对托住芯片两侧边水平运动的干燥传送带，干燥传送带之间下方的机架上设置由机械动力控制顶托芯片上下运动的推板，推板的正上方设置带有真空吸盘和红外加热管的第一真空室，第一真空室的一侧设置通过连杆机构与第一真空室活动连接的、具有与第一真空室下端匹配的密封结构的第二真空室，第二真空室对应第一真空室设置密封结构的一侧开设有与芯片对应的真空吸附孔。本发明结构简单、设计巧妙，自动拾取芯片进行喷淋式清洗和真空干燥，在真空环境下对芯片进行热力烘干，保护芯片不受损伤。

主权项

芯片在线清洗干燥设备，其特征在于：包括设置在清洗机后端的真空干燥设备，所述真空干燥设备(B)包括机架(1)，机架(1)的中部设置衔接清洗机的一对托住芯片(F)两侧边水平运动的干燥传送带(2)，干燥传送带(2)之间下方的机架(1)上设置由机械动力控制顶托芯片(F)上下运动的推板(4)，推板(4)的正上方设置带有真空吸盘(7)和红外加热管(8)的第一真空室(5)，第一真空室(5)的一侧设置通过连杆机构与第一真空室(5)活动连接的、具有与第一真空室(5)下端匹配的密封结构的第二真空室(6)，第二真空室(6)对应第一真空室(5)设置密封结构的一侧开设有与芯片(F)对应的真空吸附孔(9)。