[发明专利]气体回收系统及气体还原装置

摘要

本发明有关一种气体回收系统，包含至少一气体供给系统、气体处理系统、气体分离系统。其中气体供给系统包含：气体供给单元、供给源；气体处理系统包含：气体反应器、气体还原装置；气体分离系统包含：第一排气单元、纯化单元、第二排气单元及加热蒸发单元；使用气体回收系统可避免气体不必要的浪费形成有害废弃物，因此气体能更有效运用，进而降低成本。本发明亦提供一种气体还原装置。

主权项

一种气体回收系统，其特征在于，包括：至少一气体供给系统，其中包含：一供给源，提供至少一气体；及一气体供给单元，与该供给源连接；至少一气体处理系统，与该气体供给系统连接，其中包括：一气体反应器，与该气体供给单元连接；及一气体还原装置，与该气体反应器连接；一气体分离系统，与该气体处理系统连接，其中包括：一第一排气单元，与该气体还原装置连接；一纯化单元，与该第一排气单元连接；一第二排气单元，与该纯化单元连接；及一加热蒸发单元，与该纯化单元及该气体供给单元连接。