[发明专利]正型光敏树脂组合物、由其制造的光敏树脂膜及含有该光敏树脂膜的半导体装置

摘要

本发明涉及正型光敏树脂组合物、由其制造的光敏树脂膜及含有该光敏树脂膜的半导体装置。本发明公开了正型光敏树脂组合物，其包括(A)含有第一聚苯并噁唑前体的聚苯并噁唑前体，该第一聚苯并噁唑前体包含化学式1所示重复单元和化学式2所示重复单元，在至少一个末端具有可热聚官能团；(B)含有酚醛树脂的溶解控制剂，该酚醛树脂包含化学式4所示重复单元；(C)光敏重氮醌化合物；(D)硅烷化合物；(E)产酸剂；以及(F)溶剂；本发明还公开了用该正型光敏树脂组合物制成的光敏树脂膜以及含有该光敏树脂膜的半导体装置。该正型光敏树脂组合物具有优异的灵敏度、分辨率、图案成形性能、残余物去除性能和可靠性。

主权项

1.一种正型光敏树脂组合物，包含：(A)包括第一聚苯并噁唑前体的聚苯并噁唑前体，该第一聚苯并噁唑前体包含以下化学式1所示重复单元和以下化学式2所示重复单元，并在至少一个末端具有可热聚官能团；(B)包括酚醛树脂的溶解控制剂，该酚醛树脂包含以下化学式4所示重复单元；(C)光敏重氮醌化合物；(D)硅烷化合物；(E)产酸剂；(F)溶剂；[化学式1][化学式2]其中，在化学式1和2中，X¹在各个重复单元中相同或者不同，各自独立地是取代或未取代的C6至C30芳香族有机基团、取代或未取代的四价至六价C1至C30脂肪族有机基团、或者取代或未取代的四价至六价C3至C30脂环族有机基团，X²在各个重复单元中相同或者不同，独立地是下述化学式3所示的官能团，以及Y¹和Y²相同或者不同，各自独立地是取代或未取代的C6至C30芳香族有机基团、取代或未取代的二价至六价C1至C30脂肪族有机基团、或者取代或未取代的二价至六价C3至C30脂环族有机基团，[化学式3]其中，在化学式3中，Z¹在各个重复单元中相同或者不同，各自独立地是单键、-O-、-COO-、-OCO-、-NH-、-CONH-、取代或未取代的C1至C15亚烷基、取代或未取代的C2至C15亚烯基、或者取代或未取代的C2至C15的亚炔基，G¹在各个重复单元中相同或者不同，各自独立地是单键、取代或未取代的C6至C30芳香族有机基团、取代或未取代的二价至六价C3至C30脂环族有机基团、或者取代或未取代的二价至六价C2至C30杂环基团，R¹在各个重复单元中相同或者不同，各自独立地是氢、氟、羟基、硫醇基、取代或未取代的C1至C30的羧基、或者取代或未取代的C1至C30脂肪族有机基团，R²在各个重复单元中相同或者不同，各自独立地是氢、取代或未取代的C1至C30的烷基、取代或未取代的C1至C30的羧基、羟基或硫醇基，n₁是1至5的整数，n₂是0至3的整数，[化学式4]其中，在化学式4中，R³在各个重复单元中相同或者不同，是取代或未取代的C1至C20的脂肪族有机基团，其中基于100mol%的R³，在酚醛树脂包括的重复单元中大于或等于50mol%的R³相对于羟基（OH）在间位。