[发明专利]清洁环保型等离子体镀膜清洗工艺有效
申请号: | 201210270427.4 | 申请日: | 2012-07-31 |
公开(公告)号: | CN102787346A | 公开(公告)日: | 2012-11-21 |
发明(设计)人: | 沙福国;康斌生 | 申请(专利权)人: | 北京天艺创新科技有限公司 |
主分类号: | C25F1/06 | 分类号: | C25F1/06 |
代理公司: | 北京天悦专利代理事务所(普通合伙) 11311 | 代理人: | 田明;任晓航 |
地址: | 100070 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明属于等离子体清洗工艺,具体涉及一种清洁环保型等离子体镀膜清洗工艺。该工艺以被清洗工件为阳极,不溶性金属或石墨为阴极,两电极同时浸入电解液槽中,通过直流电产生阳极溶液清洗,其中,所述的电解液组分包括:尿素0.5-2000g/L、碳酸氢钠0.2-1000g/L,碳酸氢钠可用5-1000g/L的碳酸钠替代,另外,还可加入缓蚀剂0.6-150g/L。本发明所使用的清洗液无强酸、强碱,溶液配方安全环保,生产成本低,加工效率高。 | ||
搜索关键词: | 清洁 环保 等离子体 镀膜 清洗 工艺 | ||
【主权项】:
一种清洁环保型等离子体镀膜清洗工艺,以被清洗工件为阳极,不溶性金属或石墨为阴极,两电极置于电解液槽中,通过直流电产生阳极溶液清洗,其特征在于:所述的电解液组分包括:尿素0.5‑2000g/L、碳酸氢钠0.2‑1000g/L。
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