[发明专利]提高静电力驱动原子力显微镜探针悬臂振动幅度的方法无效
| 申请号： | 201210238366.3 | 申请日： | 2012-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN102749480A | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | 邵志峰;张金金;丹尼尔·恰科夫;孙洁林;沈轶;胡钧 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24;G01Q60/38 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种施加直流偏压提高静电力驱动原子力显微镜(AFM)探针悬臂振动幅度的方法。AFM探针悬臂背面的金属镀层和导电玻璃作为两个电极，在这两个电极间施加交流信号从而产生静电力来驱动悬臂振动，由于作用力直接施加于悬臂，避免了悬臂振动频谱图中除共振峰以外其它杂峰的出现；而进一步叠加直流信号来提高悬臂振动幅度，从而振动信号的信噪比增加，有利于锁定真正的悬臂共振频率，进而提高了仪器的分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 提高 静电力 驱动 原子 显微镜 探针 悬臂 振动 幅度 方法 | ||
【主权项】：
一种提高静电力驱动原子力显微镜探针悬臂振动幅度的方法，其特征在于，包括下列步骤：在探针悬臂背面的金属镀层和导电玻璃上施加交流电压，产生静电场；所述静电场产生的静电力作用在所述探针悬臂上，驱动所述探针悬臂振动；在施加交流电压的基础上施加直流偏压，提高所述探针悬臂的振动幅度；根据所述探针悬臂振动的频谱图，结合原子力显微镜进行成像。
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