[发明专利]一种碳化硼-碳化硅复合涂层的制备方法

摘要

本发明涉及大气等离子喷涂技术领域，具体涉及一种碳化硼-碳化硅复合涂层的制备方法。所述制备方法，包括如下步骤：将碳化硼粉末与碳化硅粉末混合均匀，并将混合后的粉末送入等离子喷涂设备；使用丙酮或酒精对待喷涂的基材表面进行清洗；对清洗好的基材表面进行喷砂处理；通过等离子喷涂设备在所述基材表面进行等离子喷涂，制备出碳化硼-碳化硅复合涂层。使用本发明所得到的B4C-SiC复合陶瓷涂层在涂层致密化的基础上，能很好的保持碳化硼陶瓷优异的耐腐蚀性以及物理力学性能，从而不影响碳化硼在半导体设备中ICP刻蚀工艺腔室内表面的防蚀处理以及防弹装甲陶瓷方面的应用，同时，提高碳化硼的抗氧化性能和高温性能。

主权项

一种碳化硼‑碳化硅复合涂层的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤（1），将碳化硼粉末与碳化硅粉末混合均匀，并将混合后的粉末送入等离子喷涂设备；步骤（2），使用丙酮或酒精对待喷涂的基材表面进行清洗；步骤（3），对清洗好的基材表面进行喷砂处理；步骤（4），通过所述等离子喷涂设备在所述基材表面进行等离子喷涂，制备出碳化硼‑碳化硅复合涂层。