[发明专利]激光光线照射装置

摘要

本发明提供的激光光线照射装置具有：激光光线振荡单元，其振荡出激光光线；聚光透镜，其会聚该激光光线振荡单元振荡出的激光光线；衍射光学元件，其配设于该激光光线振荡单元与该聚光透镜之间，规定该激光光线振荡单元振荡出的激光光线的点形状；以及0次光排除单元，其从由该衍射光学元件规定了点形状的一次光和未生成为一次光的0次光之中排除0次光而仅将规定了点形状的一次光导入到该聚光透镜，该0次光排除单元具有：第1棱镜，其具有入射面、和出射面；第2棱镜，其具有0次光反射面和一次光出光面；以及衰减器，其对在该第2棱镜的该0次光反射面反射的0次光进行吸收。

主权项

一种激光光线照射装置，其具有：激光光线振荡单元，其振荡出激光光线；聚光透镜，其对由该激光光线振荡单元振荡出的激光光线进行会聚；衍射光学元件，其配设于该激光光线振荡单元与该聚光透镜之间，规定该激光光线振荡单元振荡出的激光光线的点形状；以及0次光排除单元，其从由该衍射光学元件规定了点形状的一次光和未生成为一次光的0次光中排除0次光而仅将规定了点形状的一次光导入到该聚光透镜，该0次光排除单元具有：第1棱镜，其具有入射面和出射面，该入射面是一次光和0次光入射的面，该出射面是相对于该入射面倾斜且一次光和相对于一次光具有角度的0次光出射的面；第2棱镜，其具有0次光反射面和一次光出光面，该0次光反射面是允许从该第1棱镜的该出射面出射的一次光的入射并反射0次光的面，该一次光出光面是出射一次光的面；以及衰减器，其对在该第2棱镜的该0次光反射面反射的0次光进行吸收。