[发明专利]激光光线照射装置

说明书

技术领域

本发明涉及向半导体晶片或光器件晶片等被加工物照射激光光线的激光光线照射装置。

背景技术

在半导体器件制造步骤中，在大致圆板形状的硅基板表面由呈格子状排列的被称作间隔道的分割预定线划分出多个区域，在该划分出的区域形成LC、LSI等器件。而且对沿着间隔道切断半导体晶片而形成器件的区域进行分割，制造出各个半导体芯片。另外，对于在蓝宝石基板表面层叠光电二极管等受光元件和激光二极管等发光元件等而成的光器件晶片也沿着间隔道进行切断，从而将其分割为各个光电二极管、激光二极管等光器件，广泛应用于电气设备。

作为上述沿着间隔道分割半导体晶片和光器件晶片的方法，提出了如下方法：沿着间隔道照射相对于晶片具有吸收性的波长的脉冲激光光线以形成激光加工槽，沿着该激光加工槽进行断开。

另外，为了提高加工精度，还提出了将激光光线的点形状形成为椭圆形的激光加工装置。该激光加工装置为了使激光光线的点形状形成为椭圆形而具备由柱面透镜构成的点整形单元（例如参见专利文献1）。

并且，作为使激光光线的点形状形成为规定形状的结构较为简单的方法，公知有使用衍射光学元件（DOE：Diffractive Optic Element）的技术。

【专利文献1】日本特开2006-289388号公报

然而，在使用衍射光学元件使激光光线的点形状形成为规定形状的方法中，利用衍射光学元件生成一次光并使激光光线的点形状形成为规定形状时，未被生成为一次光的0次光也与一次光一起照射到被加工物，存在降低加工性能的问题。

发明内容

本发明就是鉴于上述事实情况而完成的，其主要技术课题在于，提供一种既能通过衍射光学元件生成一次光，使激光光线的点形状形成为规定形状，又能排除未生成为一次光的0次光的激光光线照射装置。

为了解决上述主要技术课题，本发明提供一种激光光线照射装置，其具有：激光光线振荡单元，其振荡出激光光线；聚光透镜，其对由该激光光线振荡单元振荡出的激光光线进行会聚；衍射光学元件，其配设于该激光光线振荡单元与该聚光透镜之间，规定该激光光线振荡单元振荡出的激光光线的点形状；以及0次光排除单元，其从由该衍射光学元件规定了点形状的一次光和未生成为一次光的0次光中排除0次光而仅将规定了点形状的一次光导入到该聚光透镜，该0次光排除单元具有：第1棱镜，其具有入射面和出射面，该入射面是一次光和0次光入射的面，该出射面是相对于该入射面倾斜且一次光和相对于一次光具有角度的0次光出射的面；第2棱镜，其具有0次光反射面和一次光出光面，该0次光反射面是允许从该第1棱镜的该出射面出射的一次光的入射并反射0次光的面，该一次光出光面是出射一次光的面；以及衰减器，其对在该第2棱镜的该0次光反射面反射的0次光进行吸收。

优选上述第1棱镜的入射面被设定为使得通过衍射光学元件的一次光垂直地入射，第1棱镜的出射面和第2棱镜的0次光反射面被平行地设定，第1棱镜的入射面与第2棱镜的出射面被平行地设定，由衍射光学元件规定的点形状以相似形状导入到聚光透镜。优选对上述第2棱镜的0次光反射面实施了角度分离涂布。

本发明的激光光线照射装置具有：衍射光学元件，其配设于激光光线振荡单元与聚光透镜之间，规定激光光线振荡单元振荡出的激光光线的点形状；以及0次光排除单元，其从由衍射光学元件规定了点形状的一次光和未生成为一次光的0次光中排除0次光而仅将规定了点形状的一次光导入到聚光透镜，0次光排除单元具有：第1棱镜，其具有入射面和出射面，该入射面是一次光和0次光入射的面，该出射面是相对于该入射面倾斜且一次光和相对于一次光具有角度的0次光出射的面；第2棱镜，其具有0次光反射面和一次光出光面，该0次光反射面是允许从该第1棱镜的该出射面出射的一次光的入射并反射0次光的面，该一次光出光面是出射一次光的面；以及衰减器，其对在第2棱镜的0次光反射面反射的0次光进行吸收，因此能够由0次光排除单元排除未生成为由衍射光学元件规定为点形状的一次光的0次光，因而能防止照射0次光导致的加工性能的降低。

附图说明

图1是装配了根据本发明构成的激光光线照射装置的激光加工机的立体图。

图2是根据本发明构成的激光光线照射装置的概要构成图。

图3是作为被加工物的光器件晶片的立体图。

图4是表示将图3所示的光器件晶片贴附于装配在环状框架的粘接带表面的状态的立体图。

图5是使用图1所示的激光加工装置在图3所示的光器件晶片形成激光加工槽的激光加工槽形成步骤的说明图。