[发明专利]一种轴向运动电热式微镜的自动测试系统及测试方法

摘要

本发明公布了一种轴向运动电热式微镜的自动测试系统，包括测试光学系统和自动测试控制电路系统。一种轴向运动电热式微镜的自动测试方法，包括电热式微镜轴向位移与所加电压关系的测试和电热式微镜系统参数的标定方法。本发明首次将干涉方法使用在一维轴向运动电热式微镜的性能测试上；方法简单容易重复实现，可用于其他种轴向位移的微镜测试上；成本低，容易实现；光路元件较少，实现简单，实用性强，一次标定参数后，可针对同一版微镜使用；外围控制电路简单，容易重复实现；通过电脑与电路系统的通信，将数据上传至电脑软件进行计算，可自动输出采集计算后的数据及相关特征曲线。

主权项

一种轴向运动电热式微镜的自动测试系统，其特征在于：其包括测试光学系统和自动测试控制电路系统；所述测试光学系统包括激光光源、第一分光镜、第二分光镜、参考镜、轴向运动电热式微镜装置、光电转换器PD和位置敏感传感器PSD；激光光源经过第一分光镜后分为两束激光，一束打到电热式微镜装置上，一束打到参考镜上；第一分光镜出射后到微镜的距离和到参考镜的距离大致相等；两束光分别再反射回第一分光镜并汇聚到第二分光镜上，第二分光镜将干涉光分成两束，一束打在PSD上，一束打在PD上；所述自动测试控制电路系统包括中央处理器，输出数模转换模块，信号整形模块，信号采集模块和安全保护模块；中央处理器是程序运算的中心，数模转换模块是将中央处理器的数字信号转换成模拟电压信号，模拟电压信号经过信号整形模块得到设定的驱动微镜的信号加载到微镜上；微镜轴向位移导致干涉条纹的明暗变化， PD及PSD光电转换后输出相应的电压值，将信息通过信号采集模块采集到中央处理器内部，中央处理器通过将采集到的数据发送到上位机软件上进行下一步处理；安全保护模块主要避免系统上电瞬间及工作中瞬时大电压对微镜的冲击。