[发明专利]硅片预清洗方法无效
| 申请号： | 201210190813.2 | 申请日： | 2012-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN102698989A | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 陈志军 | 申请（专利权）人： | 协鑫阿特斯（苏州）光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/04 | 分类号： | B08B7/04;B08B3/02;B08B3/04;B08B13/00 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 何平 |
| 地址： | 215153 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种硅片预清洗方法，其特征在于，对切割后的硅片首先进行浸泡处理，浸泡结束后进行喷淋。上述硅片预清洗方法，对切割后硅片上大部分砂浆实现浸泡脱离处理，收集浸泡产生的砂浆水，以便在砂浆回收企业对浸泡过的砂浆水进行二次回收再利用，提高了砂浆回收利用率，同时降低了污水处理费用，达到环保的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 清洗 方法 | ||
【主权项】：
一种硅片预清洗方法，其特征在于，对切割后的硅片首先进行浸泡处理，浸泡结束后进行喷淋。
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