[发明专利]一种实现多晶硅铸锭炉冷却的方法及冷却装置在审
| 申请号： | 201210177335.1 | 申请日： | 2012-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN102912412A | 公开（公告）日： | 2013-02-06 |
| 发明（设计）人： | 樊海艳 | 申请（专利权）人： | 沈阳森之洋光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 俞鲁江 |
| 地址： | 110141 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开一种实现多晶硅铸锭炉冷却的方法，基于现有结构的铸锭炉，将铸锭炉内的隔热笼结构进行改进；第一步，首先在铸锭炉的隔热笼内增加一隔温装置，将隔热笼内形成两个封闭的腔室；第二步，然后在其中上腔室内设有上加热器、坩埚和下加热器，通过关闭隔温装置，启动上加热器和下加热器同时加热，使坩埚内的硅料熔化；第三步，在隔温装置下方设有换热装置；第四步，控制隔温装置开口的大小来控制冷气量，控制晶硅均匀生长。该冷却方法通过隔热门，巧妙地将炉内冷热分隔开；该方法通过控制上下加热器的功率，形成上下温度梯度，通过打开隔热门的每层可以控制开口的大小来控制通气量，控制冷却速度；该方法结构简单，操作方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实现 多晶 铸锭 冷却 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种实现多晶硅铸锭炉冷却的方法，基于现有结构的铸锭炉，其特征在于：将铸锭炉内的隔热笼结构进行改进；第一步，首先在铸锭炉的隔热笼内增加一隔温装置，将隔热笼内形成两个封闭的腔室；第二步，然后在其中上腔室内设有上加热器、坩埚和下加热器，通过关闭隔温装置，启动上加热器和下加热器同时加热，使坩埚内的硅料熔化；第三步，在隔温装置下方设有换热装置；第四步，控制隔温装置开口的大小来控制冷气量，控制晶硅均匀生长。
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