[发明专利]利用微波干燥纳米图形的方法及其装置在审
| 申请号： | 201210150162.4 | 申请日： | 2012-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN103420333A | 公开（公告）日： | 2013-12-04 |
| 发明（设计）人： | 王磊;景玉鹏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | B81C99/00 | 分类号： | B81C99/00;F26B23/08 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 刘丽君 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体干燥工艺技术领域，公开了一种利用微波干燥纳米图形的方法及其装置。该方法包括清洗待处理的纳米样片；通过微波对清洗后的纳米样片进行干燥处理。该装置包括荧光灯、微波发生器、微波谐振腔体、磁控管、石英清洗盒、转台、变频器、转杆、电机及电源。本发明能有效的解决干燥过程中结构塌陷的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 微波 干燥 纳米 图形 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
一种利用微波干燥纳米图形的方法，其特征在于，包括:清洗待处理的纳米样片;通过微波对清洗后的纳米样片进行干燥处理。
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