[发明专利]测试布局结构

摘要

本发明公开了一种测试布局结构，其具有第一高度、与第一矩形的第一氧化物区域位于基材上，具有与第一高度实质上不同的第二高度与第二矩形的第二氧化物区域，也位于基材上并毗邻第一氧化物区域。多个边界区域位于第一氧化物区域和第二氧化区之间。测试布局图案同时位于第一氧化物区域和第二氧化区上，并具有多组个别部份的导电材料，其包括多个第一部分与多个第二部分。多个第一部分沿着第一方向延伸，多个第二部分则沿着与第一方向垂直的第二个方向延伸。测试区域则位于两相邻又相互平行的个别部份之间。

主权项

一种测试的布局结构，其特征在于，包含：基材；位于所述基材上的至少一第一氧化物区域，具有第一高度、与第一矩形形状；位于所述基材上的至少一第二氧化物区域，毗邻所述至少一第一氧化物区域，具有第二高度、与第二矩形形状，其中所述至少一第一氧化物区域和所述至少一第二氧化区之间有多个边界区域，并且所述第一高度与所述第二高度实质上不同；以及测试布局图案，包括具有多个个别部份的导电材料，所述多个个别部份包括多个沿第一方向延伸的第一部分，和多个沿着与所述第一方向垂直的第二个方向延伸的第二部分，其中一测试区域位于两相邻又相互平行的所述个别部份之间。