[发明专利]滤光器、滤光器模块以及光分析装置

摘要

本发明提供了一种滤光器、滤光器模块以及光分析装置，该滤光器具备：固定基板；可动基板，与固定基板相对；第一反射膜，设置在固定基板的与可动基板相对的面上；第二反射膜，设置在可动基板上，隔着间隙与第一反射膜相对；第一电极，覆盖所述第一反射膜，延伸至第一反射膜的外周的外侧的范围而形成；以及第二电极，设置在可动基板的与固定基板相对的面上，并与第一电极的一部分相对，其中，第一电极由透光性材料形成，第一电极与第二反射膜电连接，处于等电位。

主权项

一种滤光器，其特征在于，具备：第一基板；第二基板，与所述第一基板相对；第一反射膜，设置在所述第一基板的与所述第二基板相对的面上；第二反射膜，设置在所述第二基板上，隔着间隙与所述第一反射膜相对；第一电极，在从厚度方向观察所述第一基板的俯视图中，所述第一电极覆盖所述第一反射膜，且所述第一电极延伸至所述第一反射膜的外周的外侧的范围而形成；以及第二电极，设置在所述第二基板的与所述第一基板相对的面上，所述第二电极与所述第一电极的一部分相对，其中，所述第一电极由透光性材料形成，所述第一电极与所述第二反射膜电连接。