[发明专利]具有微流道结构的放电腔及气体激光器有效
| 申请号： | 201210144445.8 | 申请日： | 2012-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN102842840A | 公开（公告）日： | 2012-12-26 |
| 发明（设计）人： | 刘斌;丁金滨;张立佳;赵江山;周翊;王宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电研究院 |
| 主分类号： | H01S3/036 | 分类号： | H01S3/036;H01S3/03;H01S3/22 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 100094*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于气体激光器的放电腔以及气体激光器，该放电腔内具有放电电极和风机，所述风机驱动所述放电腔内的气体经过所述放电电极而进行流动，从而形成一个主气流。在所述放电电极的两侧设置有导流板，所述微流道设置有所述导流板上，并且所述微流道的出口朝向所述导流板与所述放电电极之间的间隙。放电腔内还包括有一个预电离装置，其支撑于所述导流板与所述放电电极之间。本发明通过在准分子激光器的放电腔中构造微流道结构，从而防止了涡旋气流的产生，减少了放电电极侧面产生的位弧现象，增加了放电稳定性，提高了激光能量，延长了预电离电极寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 微流道 结构 放电 气体 激光器 | ||
【主权项】：
一种用于气体激光器的放电腔，该放电腔内具有放电电极和风机，所述风机驱动所述放电腔内的气体经过所述放电电极而进行流动，从而形成一个主气流，在所述主气流的流道的两侧存在凹陷区，其特征在于，在所述主气流的流道两侧设置有微流道，所述微流道具有用于气体流入的入口和用于气体流出的出口，所述入口位于所述主气流的下游，所述出口朝向所述凹陷区。
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