[发明专利]基准标记模型模板生成方法

摘要

本发明提供一种基准标记模型模板生成方法，其能不出错地生成电路基材的基准标记的模型模板。通过执行基准标记候补提取工序、标记种类判别工序及模板生成工序而进行模型模板的生成，其中，基准标记候补提取工序通过拍摄装置来拍摄电路基材的基准标记形成预定位置周边，并从由此得到的图像中提取是基准标记的像的可能性高的像即基准标记候补，标记种类判别工序判别提取的基准标记候补为多种预定的基准标记中的哪一种，模板生成工序通过该标记种类判别工序的实施来生成判明了种类的基准标记的模型模板。基准标记候补提取工序是利用使用了类Haar特征的层次型AdaBoost检测器来提取基准标记候补的工序，标记种类判别工序是利用神经网络来判别标记种类的工序。

主权项

一种基准标记模型模板生成方法，其特征在于，包括：拍摄工序，通过拍摄装置来拍摄电路基材的基准标记形成预定位置及该基准标记形成预定位置的周边；基准标记候补提取工序，从通过实施所述拍摄工序而得到的图像中提取基准标记候补，该基准标记候补是作为基准标记的像的可能性高的像；标记种类判别工序，判别所提取出的基准标记候补为多种预定的基准标记中的哪一种；及模板生成工序，生成通过实施所述标记种类判别工序而判明了种类的基准标记的模型模板；并且，所述基准标记候补提取工序中，利用使用了类Haar特征的层次型AdaBoost检测器来提取基准标记候补。