[发明专利]一种真空镀膜机用基片翻转装置有效
| 申请号： | 201210120266.0 | 申请日： | 2012-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN102644058A | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | 陈艳;闫海;陈巍;路文一 | 申请（专利权）人： | 北京遥测技术研究所 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 范晓毅 |
| 地址： | 100076 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种真空镀膜机用基片翻转装置，包括转盘、基片工架、角度止挡块、指针、波叉、窗口压盖、波纹管、波纹管接口和拨叉杆，基片工架、角度止挡块、指针装配在一起安装在转盘上，窗口压盖、窗口玻璃、波纹管、波纹管接口、拨叉和拨叉杆装配在一起通过窗口压盖与镀膜机相连，通过操作拨叉杆、波纹管与指针完成真空状态下基片旋转角度的更改和基片晶面的翻转，该装置为手动操作装置，可用于溅射、热蒸发等物理气相沉积方法对基片进行镀膜，当基片需要进行确定角度的多次镀膜时，利用此装置可以对基片进行精确的角度更改，使基片只需进行一次抽真空便能完成对基片的多方向镀膜，不仅提高生产效率，减少工序时间，而且提高膜层质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 机用基片 翻转 装置 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜机用基片翻转装置，其特征在于：包括基片工架(2)、角度止挡块(3)、指针(4)、拨叉(5)、窗口压盖(6)、波纹管(8)、波纹管接口(9)和拨叉杆(10)，其中基片工架(2)两端的轴(12、13)分别穿过镀膜机转盘(1)上的两个支架(11、14)固定在镀膜机转盘(1)上，角度止挡块(3)穿过基片工架(2)一端的轴(12)固定在其中一个支架(14)上，指针(4)安装在基片工架(2)一端的轴(12)上，拨叉(5)安装在拨叉杆(10)的末端，拨叉(5)上开设两对容纳指针(4)的凹槽，选择其中一对凹槽实现基片工架(2)中基片与镀膜机中蒸发源之间角度的更改，选择另外一对凹槽实现基片工架(2)中基片镀膜晶面的翻转，窗口压盖(6)安装在镀膜机腔室门上，波纹管(8)一端焊接在窗口压盖(6)上，另一端与拨叉杆(10)通过波纹管接口(9)实现动密封装配。
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